浙江欣芯微机电制造有限公司

浙江欣芯微机电制造有限公司成立于2021年10月20日，公司定位于国内高端MEMS芯片本土自主生产这一空白领域，为高端MEMS传感器、执行器等提供制造工艺解决方案及规模化生产平台。 公司一期建成年产1万片6英寸高端MEMS晶圆制造项目，固定资产投资约3.5亿元，用地33.5亩，建筑面积约3.6万平方米。厂房十级、百级洁净区近2000平，千级以上洁净区达4000平，设置了光刻、干法刻蚀、湿法腐蚀、键合和结构释放等主要工艺板块，设备自动化程度高，在高端MEMS芯片制造厂房中属国际先进水平。加工工艺面向加速度计、陀螺仪、地震检波器等高精度传感器芯片，主要应用于航空航天、汽车电子、工业控制、生物医疗、5G通信等领域，市场前景广阔。