机械设计

中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心成立于2009年 4月，是中国科学院微电子研究所与嘉兴市人民政府共同组建的技术转移转化、研发、中试和高新技术产业孵化的创新平台机构。中心位于浙江中科院应用技术研究院园区9号楼南区，现有场地面积3000余平方米，其中专业实验研发基地面积1280平方米。现有研发团队26人，其中正高级职称3人，副高级职称1人，博士4人。工程中心依托中科院雄厚的研发力量、人才优势和综合技术实力,立足嘉兴，辐射长三角，以应用科学研究为基础，以技术研究、技术推广、项目合作、人才培养为合作领域，开展微电子成套设备技术研发与应用，设立重点实验室、工程中心和孵化基地，大力推动微电子成套设备技术在地方经济发展中的作用。已成功开展包含原子层沉积在内的高端半导体装备项目研发。近年来，工程中心陆续承的担国家科技重大专项子项目《45nm以下颗粒检测与化学沾污检测集成系统的研发》、浙江省科技项目《用于光刻胶抗刻蚀能力强化的连续渗入合成（SIS）设备及技术开发》等科研、产业化项目，取得了丰硕的成果。研发的ALD设备成功通过大型微电子、MEMS制造企业产线验证，成为国内首个进入大批量制造产业化市场的原子层沉积机型，打破了国外设备的垄断。除了自身科研外，中心依托中心强大的人才队伍和仪器设备研发能力，为浙江地区高校乃至外省高校提供的实习基地和人才培训服务，满足了高等学校普遍存在的缺乏将理论与实践相结合的条件，并获得了学校的认可和广泛好评，最大程度的发挥本工程中心的优势为社会培养更多具有工匠精神的人才。