超精密磨削工艺开发

哈尔滨市博众泰达光学精密机械有限公司（博众泰达）是一家专门从事超精密制造与检测装备的研发、制造、销售、工艺开发等服务的先进高技术企业，旨在为光学和半导体等超精密制造产业提供完备的技术解决方案，打破国外对超精密制造技术的垄断，为国家相关重大科学工程提供核心技术支持。博众泰达拥有一支技术深厚的超精密加工技术专家团队，在超精密机床设计、超精密测量、静压运动部件、切削工艺与机理、新应用开发等方面具有丰富的技术积累。公司主要面向光学与半导体等超精密制造行业提供超精密切削、超精密磨削、超精密抛光与检测等装备与技术服务，实现我国超精密加工技术的自主可控，解决相关行业的“卡脖子”制造技术难题，成为超精密制造技术的研发与应用高地。博众泰达结合自身技术优势，面向相关行业的超精密加工与检测需求，研发了系列化超精密装备产品，目前已定型了10余款超精密加工、检测设备，形成了较为完整的超精密加工机床及其关键零部件谱系。定型产品如下： 1.面向光学面板显示行业，研发了大型辊筒模具超精密加工机床，国外竞品公司Moore。 2.针对光学模具等需求，开发了2-4轴单点金刚石超精密车床，国外竞品公司Moore、东芝等。 3.针对光学自由曲面加工需求，研制了五轴联动车磨复合超精密加工机床，国外竞品公司Moore、Precitech等。 4.针对硅基光学元件的高效高精修形需求，开发了大气等离子体加工机床，属于国内首创，无竞品。 5.光学元件超精密检测检测设备，竞品公司日本黑田、英国taylor-hobson。 6.超精密静压运动部件，竞品公司美国PI。① C系列气体静压超精密机床主轴② B系列液体静压超精密转台③ R系列气体静压超精密转台④晶圆加工专用主轴