岗位职责:
1.新产线建构与维护,LITHO光刻设备机台评估与导入,确定RFQ满足需求;
2.评估工艺视窗以及机台能力并且展开工艺窗口扩大;
3.产品工艺指标(OVL/CD/Image)监测开眼以及稳定度管控;
4.负责在线产品工艺问题诊断与解决,对异常工艺设备的跟踪/核查;
5.审查签属工艺技术文件、产品技术条件、工艺标准与工艺规程等工艺资料;
6.新技术移转与产能产量提升,实现产能最佳化;
7.负责协调跨部会合作,协助转移新研发技术成功量产;
8.核心团队建立以及基础人员培训,负责团队的管理与赋能;
任职要求:
1.硕士及以上学历,微电子、物理、光学、材料、化学等相关专业;
2.8年及以上半导体光刻工艺经验,具备逻辑工艺开发能力(掌握SMO& Patterning开发),2年以上研发团队管理经验;
3.熟练掌握Track& Scanner& CDSEM& OVL等机台的工作原理、操作及可针对性开展工艺参数优化;
4.掌握Mask相关知识及质量管控,掌握Frame及Mark design基础;
5.熟练掌握光刻核心工艺指标理论(CD/DoF/LWR/OVL/NZO/Defect)及其影响因素;
6.擅长团队组建、人才培养、激励;团队间协作能力强;项目管理及技术推动能力强。