中科晶源微电子技术（北京）有限公司

中科晶源微电子技术（北京）有限公司成立于2016年8月，位于北京市北京经济技术开发区经海四路156号院，是由东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司100%持股的企业，生产经营场所涵盖园区内相关楼宇的1-2层及5层。 公司作为先进半导体装备和软件研发企业、电子束半导体检测设备生产商，专注于半导体设计制造领域，主要提供极大规模集成电路制程中的电子束检测设备和优化解决方案，产品覆盖半导体设计与制造关键环节；同时开展半导体相关技术服务、半导体器件专用设备及电子测量仪器的制造与销售、货物进出口、软件开发等业务。 公司核心产品可应用于国内外主流半导体芯片设计和制造公司，在10nm以下极大规模集成电路制造的电子束检测设备领域具备技术竞争力，其相关研发项目曾参与2020年中关村国际前沿科技创新大赛，彰显了在行业前沿技术领域的研发实力。 公司拥有高新技术企业、专精特新中小企业、科技型中小企业资质，累计拥有专利49-50条，涵盖移动光阑、静电夹持装置等半导体相关领域发明专利，另有软件著作权6条，自主研发的高精度电子束扫描成像系统、图形量测与缺陷分析软件等核心技术，可有效解决行业现有技术困境。