长春国科精密光学技术有限公司上海分公司

长春国科精密光学技术有限公司上海分公司位于上海市嘉定区，于2014年8月由中国科学院上海光学精密机械研究所照明系统研发团队转制成立，是国家科技重大专项支持的唯一一家光刻机照明系统研发单位。上海分公司以解决国家重大关键核心技术的战略需求为己任，致力于复杂非成像光学系统、非常规元器件、高端光电检测仪器的研究与开发。上海分公司于2017年4月研发成功我国首套90nm节点光刻机照明系统，于2020年11月研发成功我国首套110nm节点光刻机照明系统，这两项成果表明本公司在非成像光学系统领域的技术水平已处于国内领先地位。2022年6月，北京国望光学科技有限公司出资将上海分公司转制为全资控股的上海镭望光学科技有限公司。