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检测对象:流延片(5寸、6寸、8寸、10寸),流延带料、电容料片、太阳能薄膜等
检测方式:在线检测,离线检测。一次性覆盖扫描、检测,引导激光器修正缺陷
缺陷类型:堵孔、漏孔、毛刺、多孔、孔偏移
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