岗位职责:
1.能够独立操作scanner/track/CD-SEM机台,收集OPC through pitch数据,同时做数据summary和对比;
2.确保新平台研发前OPC验证通过,不delay新平台研发的mask进度;
3.保证OPC数据收集的准确性:
4.评估材料/照明系/显影等条件对OPC图形的影响;
5与Mentor/Synopsys厂商确定每个step的量测recipe并且编程建立OPC模型;
6.针对Run OPC recipe过程中的error做修复,并确认最终bias是否符合预期;
7.对于OPC建模整个流程的优化以及不断完善,制定SOP。
任职要求:
1.硕士以上学历,5年以上OPC相关工作经验;
2.物理、化学、材料、电子、集成电路等理工科相关专业。