电气开发（设备运动控制方向）

中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）成立于2013年，是在中国电子科技集团有限公司二所、四十五所、四十八所基础上组建成立的二级成员单位，属中国电子科技集团有限公司独资公司，注册资金24.5亿元，注册地为北京亦庄经济技术开发区。电科装备是我国以集成电路制造装备、新型平板显示装备、新能源装备和太阳能光伏产业为主的科研生产骨干单位，具备集成电路局部成套、系统集成能力和光伏太阳能产业链整线交钥匙能力。形成了以离子注入机、平坦化装备（CMP）、电化学沉积设备（ECD）等为代表的微电子制造设备研究开发与生产制造体系，涵盖材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域。拥有国家光伏装备工程技术研究中心、国防科技工业微组装技术研究应用中心、国防科技工业有源层优化生长技术创新中心等国家级研发机构，设有博士后工作站和国家级研究中心。电科装备以解决国防和国民经济电子信息基础领域制造装备及工艺自主化、国产化问题，确保自主、健康、持续发展为己任；以自主创新引领高端装备向产业化、成套化发展，致力打造引领我国电子制造装备自主可控发展的创新型领军企业。