刻蚀设备 机械工程师

工作地点：南通
岗位职责
负责ALE/PEALE 原子层刻蚀设备整机机械方案设计，主导真空腔体、气路 / 水路、传动机构、密封系统等核心模块研发与优化。
完成设备 3D 建模、2D 工程图、BOM 清单编制，确保设计满足半导体设备高精度、高洁净、高真空、高可靠性要求。
负责关键零部件选型、供应商技术对接与样品验证，跟进加工、装配、调试全流程，解决机械设计与制造问题。
配合工艺、电气、软件团队完成设备集成调试，定位并解决真空泄漏、particle、振动、精度、温度控制等关键问题。
编写机械设计说明书、装配规范、测试报告等技术文档，支持设备 NPI、量产与客户交付。
跟踪 ALE 刻蚀设备机械领域前沿技术，参与技术预研、专利布局与产品迭代。
任职要求
本科及以上学历，机械设计、机械电子、精密仪器、真空技术等相关专业，3 年及以上半导体刻蚀 / ALD 设备机械研发经验。
精通真空系统设计，熟悉真空腔体、分子泵、真空阀、密封结构、气体管路设计与验证；有 ALE/PEALE/ICP/RIE 设备经验优先。
熟练使用 SolidWorks/Creo/CATIA 任一 3D 设计软件，能独立完成精密机械结构设计、公差分析与工程图输出。
熟悉半导体设备洁净室规范、材料兼容性、表面处理（电解抛光、钝化）、安规与可靠性要求。
具备设备装配、调试、问题排查与根因分析能力，能独立解决现场机械技术问题。
严谨细致，具备良好的跨部门协作、沟通表达与项目推进能力。
加分项
有先进制程半导体 ALE 刻蚀设备整机研发或量产导入经验。
熟悉原子层刻蚀工艺原理，能将工艺需求转化为机械设计规格。
具备设备 CE/SemI 认证、DFM 设计、仿真分析经验。
有专利撰写、技术文档标准化经验。