岗位职责:
1.监控Track机台的缺陷数,识别缺陷根因(如颗粒污染、工艺参数偏移),确保良率达标(如减少缺陷率)。
2.管理缺陷课团队(包括工程师和技术员),分配任务、提供培训、执行绩效评估及团队建设。
3.主导光刻缺陷相关项目,推动改进措施(如优化涂胶/显影参数或引入新检测技术),支持良率提升。
4. 跨部门协作,与Scanner设备、整合部门联动,确保全流程缺陷控制。
任职要求:
1.本科或以上学历,优先考虑微电子学、材料科学、化学工程或相关工程专业。
2.5年以上半导体Track经验,需有光刻工艺或缺陷分析背景,熟悉轨道系统(如涂胶机、显影机)和缺陷检测设备(如KLA工具),其中具备至少1年团队管理经验。
3.精通缺陷检测原理(如光学或电子束检测)、根因分析工具(如FMEA、8D报告)及数据分析软件(如JMP、Python)。
4. 熟悉光刻轨道设备操作和维护知识,理解工艺参数对缺陷的影响。