淄博高新技术产业开发区MEMS研究院

淄博高新技术产业开发区MEMS研究院（以下简称“MEMS研究院”） 是由清华大学与淄博高新区管委会于2010年共建的研究院，是拥有独立法人机构的全额事业单位，是国内第一家微机电制造领域的校地共建研究院，是全国微纳制造、器件与系统协同创新中心成员单位。 MEMS研究院与淄博高新区共建的“硅基MEMS中试代工平台”（以下简称“MEMS平台”）是山东省第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的平台，MEMS平台于2016年5月17日通过国家质量管理体系认证，并于2016年6月20日通过教育部成果鉴定，鉴定成果为国际先进。MEMS平台投资约1.6亿人民币，厂房面积4996平，洁净面积达1540平，超净面积和规模位居山东省第一、全国前列；拥有德国SUSS公司光刻机、奥德利EVG公司键合机、英国SPTS公司深硅刻蚀机等国际一流的6英寸MEMS及微纳米代工线设备共计63台/套，产品的测试环境居国际先进水平，并具备与国际上保持同步更新的能力。研究院于2017年12月注册成立“山东博华电子科技发展有限公司”作为MEMS平台的运营公司。 淄博高新技术产业开发区MEMS研究院欢迎您！