运动控制专家

岗位职责：
1、主导半导体设备的多轴运动控制系统设计，实现纳米级定位精度（＜2nm）、微弧度级角度控制；
2、在信号与反馈、传递函数分析等相关经验基础上，对电路图建立系统的微分方程，通过对硬件和软件分析和测试对控制系统进行优化；
3、设计机电协同方案，与机械团队优化刚体结构谐振频率，与电气团队实现驱动器与控制器的匹配调试；
4、搭建运动控制测试平台（激光干涉仪、电容传感器反馈），能够对系统进行不同模式的响应测试，判定现有系统的问题性、响应速度等，提出对应的改善措施；
5、制定运动系统校准流程（如光栅尺/编码器标定），解决量产中的定位偏差累积问题；
6、支持客户现场故障诊断，分析定位误差来源。
任职要求：
1、 电气、电气一体化、自动化专业，统招本科及以上学历；
2、5年以上半导体设备运动控制系统开发经验，主导过至少1个完整多轴运动平台项目;
3、熟悉ACS或Delta Tau多轴控制器，掌握EtherCAT/CANopen实时总线配置；
4、熟悉光栅尺/激光干涉仪信号处理、编码器细分误差校正；
5、熟悉SEMI E系列设备通信标准、IEC 61800可调速电气传动系统安全规范。