无锡唯睿半导体装备与零部件有限公司(无锡半导体装备与关键零部件创新中心):以“一个创新中心、一个专业园区、一支股权投资基金”的闭环发展模式,针对卡脖子的半导体装备和零部件产品进行自主研发和项目引入,加速半导体装备和零部件的研发攻关和国产化。系统性打造从技术预研到商业化落地的“0-1-10-100”全生命周期创新创业生态,为研发和引入项目提供精准匹配的服务支持。创新中心自2025年4月启用以来已引8个高端半导体装备和零部件项目,包括远程等离子源(RPS)、高纯氟材料管阀、半导体设备电源、超声波流量计、快速热处理系统(RTP)以及残余气体分析仪(RGA)等半导体装备和零部件产品,均具备自主研发能力以及产品迭代能力,部分产品已经进入国内知名晶圆厂测试验证并获得订单。