设备工程师（退火炉 / 炉管）

1. 炉管设备日常运维与保养 负责半导体晶圆立式/卧式退火炉、氧化炉、扩散炉、炉管热处理设备的日常点检、异常处理、故障抢修、周期性PM保养、精度校准与设备稳定性管控。保障炉管设备OEE、UPH、稼动率满足量产要求，确保产线7*24h稳定生产。

2. 核心系统故障分析与修复 熟练处理炉管温控系统、加热丝、温区偏移、恒温异常、真空系统、气路管路、MFC流量、阀组、压力控制、升降机构、石英舟、晶舟传送等各类设备故障。针对温区漂移、温度超限、升温异常、漏气、报警宕机等问题快速定位根因，完成修复与闭环改善，降低设备宕机时长（MTTR/MTBF优化）。

3. 工艺匹配与参数稳定性维护 配合工艺完成退火、氧化、扩散、合金化等热处理工艺的设备稳定性管控，监控炉管温区均匀性、恒温区间、气体配比、真空稳定性，跟进SPC数据，提前预判设备漂移、老化、异常趋势，避免批量工艺不良与品质异常。

4. 备件耗材管理与设备寿命管控 负责炉管核心耗材与备件管理，包含石英管、石英舟、隔热棉、加热组件、热电偶、密封圈、过滤器、MFC、真空计等耗材更换、寿命统计、定期更换，建立耗材台账，优化备件库存，控制设备维护成本。

5. 新机导入、改造与验证 参与新设备进厂、二次配、安装、调试、验收、工艺验证、产能爬坡；负责设备技改、功能升级、老旧设备优化改造、异常闭环改善，输出DOE验证、改善报告、8D报告。

6. 文档标准化与现场管理 负责编写、更新炉管设备SOP、PM保养标准、故障知识库、点检规范、作业指导书；落实洁净室规范、EHS安全管理，规范设备操作、维护、点检流程，完成团队技能培训与带教。

7. 跨部门协同 联动工艺、生产、品质、供应链团队，解决量产异常、良率波动、设备瓶颈问题，保障产线良率与交付稳定。

任职要求
1. 本科及以上学历，自动化、机电、机械、电气、微电子等相关专业。

2. 2年以上半导体Fab退火炉/氧化炉/扩散炉/炉管Thermal设备独立维护经验，熟悉立式/卧式炉管结构原理。

3. 精通炉管温控系统、温区校准、真空系统、气路系统、MFC控制、热场平衡原理，可独立处理设备各类突发故障。

4. 熟悉半导体退火、氧化、扩散工艺流程，了解温度、真空、气体对晶圆工艺的影响，具备工艺异常分析能力。

5. 熟悉洁净室设备管理规范，熟练使用办公软件，能独立输出维护记录、改善报告、验证报告。

6. 抗压能力强，逻辑清晰，具备良好的问题分析能力、执行力与团队协作能力，能适应倒班及Oncall值班。

优先条件（加分项）

1. 具备TEL、Koyo、Naura、北方华创、盛美等主流炉管设备实操与维护经验者优先。

2. 熟悉LNOI、硅基、化合物半导体退火工艺设备维护经验者优先。

3. 熟悉炉管温区校准、热场优化、漏气检测、真空检漏、MFC标定经验者优先。

4. 有良率改善、设备技改、新机导入项目经验者优先。