半导体清洗量产设备控制技术研究

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中国科学院微电子研究所自诞生起就是中国微电子技术创新的引领者和产业发展的推动者。经过六十多年的发展，中国科学院微电子研究所已经成为国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构，是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位，是中国科学院大学微电子学院（国家示范性微电子学院）的依托单位，是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。 现拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室（微电子器件与集成技术重点实验室、硅器件技术重点实验室），5个行业服务类研发中心（EDA中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心、中科新芯三维存储器研发中心、光刻技术总体部），7个行业应用类研发中心（通信与信息工程研发中心、新能源汽车电子研发中心、健康电子研发中心、智能感知研发中心、智能制造电子研发中心、智能电子系统研发中心、电磁信息智能应用研究中心），4个核心产品类研发中心（硅器件与集成研发中心、高频高压器件与集成研发中心、微电子仪器设备研发中心、光电技术研发中心）。 截至目前，微电子所共有在职职工一千余人，包括中国科学院院士2人、发展中国家科学院院士1人、国家杰出青年科学基金获得者4人。研究员及正高级工程技术人员150人、副研究员及高级工程技术人员343人。 微电子所坚持开放办所理念，坚持“企业为主体，市场为导向，产学研用结合”的对外合作思路，与北京大学、清华大学、复旦大学等高校和武汉新芯、上海华力、华润微电子、北方微电子等企业结为战略合作伙伴，在北京、江苏、湖北、四川、广东、湖南等省市开展科技成果转移转化，在我国微电子领域拥有广泛的影响，为支撑我国微电子产业核心竞争力发挥了不可替代的重要作用。 联系方式：hr@ime.ac.cn(只接受问题咨询) 官网：http://www.ime.cas.cn/ 地址：北京市朝阳区北土城西路3号

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