ICP设备工程师（红光芯片方向）

一、【岗位职责】
1、设备维护与保养：负责ICP干法刻蚀设备的日常点检、预防性维护及年度保养计划的制定与执行，确保设备稼动率（MTBF）达标，保障产线稳定运行。
故障处理与异常分析：快速响应并解决设备运行中的重大异常（如刻蚀速率波动、真空系统故障、射频异常等），主导根因分析并制定防范措施，控制设备故障率。
2、工艺支持与性能优化：配合工艺工程师（PE）进行新机台调试及工艺参数优化，针对红光芯片的刻蚀需求改进设备性能，提升刻蚀均匀性与良率。
3、备件与成本管理：管理设备核心备件及专用工具的库存，制定安全库存周期，评估并推进备件的国产化替代，有效控制设备维护成本。
4、新设备导入与文档建设：参与新ICP设备的技术评估、安装调试及验收（FAT/SAT），撰写并优化设备操作SOP、保养规范及故障维修案例库。
二、【任职要求】
1、学历专业：本科及以上学历，机械、电子、自动化、微电子或物理等理工科相关专业。
2、工作经验：3年以上半导体或LED芯片厂设备维护经验，精通ICP干法刻蚀机台（如Lam Research、Oxford等主流机型）的结构原理及维修。