CVD 工艺工程师

一、岗位职责
1. 工艺开发与优化：
* 负责 CVD工艺配方的开发、调试及优化，确保薄膜厚度、均匀性、应力及附着力等指标满足产品规格。
* 针对半导体零部件表面处理（如耐腐蚀涂层、绝缘涂层等）进行工艺改进，提升产品良率及使用寿命。
* 主导新工艺导入，完成从实验室到量产的工艺转移。

2. 生产支持与良率提升：
* 解决生产线上的日常工艺异常，进行缺陷分析，制定纠正预防措施。
* 运用 SPC工具监控工艺稳定性，持续降低工艺波动，提升设备综合效率。
* 负责降本增效，通过优化气体用量、耗材寿命及工艺节拍来降低制造成本。

3. 设备管理与维护：
* 配合设备工程师进行 CVD 设备的维护保养、故障排查及备件验证。
* 负责工艺相关设备的选型、评估及验收。

4. 规范化与体系建设：
* 编写并维护标准作业程序（SOP）、工艺控制计划（CP）及 FMEA 等文档，确保符合 ISO9001/IATF16949 合规要求。
* 参与客户审核及技术答疑，提供工艺相关的技术支持数据。

5. 安全与环保：
* 严格遵守 EHS 规范，负责特种气体及化学品的安全使用评估，确保零安全事故。

二、任职要求

1. 教育背景：
* 本科及以上学历，材料科学、化学、物理、微电子、机械工程等相关专业。

2. 工作经验：
* 3 年以上半导体行业 CVD 工艺相关经验（有半导体零部件制造、表面工程或 Fab 厂 CVD 模块经验者优先）。
* 熟悉主流 CVD 设备的操作及原理。

3. 专业技能：
* 精通薄膜表征技术（如 SEM, XRD, XPS, Ellipsometer, Step Profiler 等）及数据分析。
* 熟悉半导体零部件常用材料特性（如铝合金、不锈钢、陶瓷、石英、SiC 等）及其与薄膜的匹配性。
* 具备扎实的 DOE（实验设计）能力及统计分析能力。