更新于 4月14日

干法刻蚀工程师

1000-2000元
  • 苏州 工业园区
  • 1-3年
  • 本科
  • 全职
  • 招1人

职位描述

ICPRIEIBE干法刻蚀电子/半导体/集成电路
☆☆☆薪资面议☆☆☆
1、负责器件干法刻蚀全流程工艺开发与优化,重点聚焦ICP、RIE、IBE三种工艺,针对氧化硅、氧化铝、非晶硅、氮化硅及常见金属的刻蚀需求,完成工艺参数调试、流程设计与兼容性验证,确保刻蚀精度、速率及选择性满足器件设计要求。
2、主导刻蚀工艺问题排查与改进,针对刻蚀过程中出现的形貌异常、刻蚀不均、选择比不足、侧壁垂直度偏差等问题,通过实验设计、数据复盘,定位工艺瓶颈并提出可落地的解决方案(如气体配比调整、功率参数优化、工艺时序优化等),提升工艺稳定性与重复性。
3、负责干法刻蚀工艺文档的撰写与更新,包括工艺规范(SOP)、实验报告、工艺优化报告、设备操作手册等,建立完整的刻蚀工艺数据库,保障工艺可追溯、可复制,推动工艺标准化落地。
4、配合研发团队完成器件性能迭代需求,衔接光刻、薄膜沉积等前后道工艺,开展工艺兼容性测试与优化,确保刻蚀工艺与整体器件流程匹配;协助量产团队完成刻蚀工艺放大与落地,解决量产过程中的工艺适配、稳定性及良率相关问题。
5、熟练运用工艺表征与测试设备(如SEM、AFM、XPS等),完成刻蚀样品的表征、数据汇总与分析,提炼工艺参数与刻蚀效果、器件性能的构效关系,为工艺优化提供数据支撑。
任职要求:
1、本科及以上学历(材料科学与工程、微电子学与固体电子学、半导体器件、纳米科学与技术、等离子体物理等相关专业),应届生或1-3年相关工作经验均可;
2、具备扎实的干法刻蚀理论基础,熟悉ICP、RIE、IBE工艺的工作原理、刻蚀机理及关键影响因素,能快速识别刻蚀工艺中的核心问题,具备实验设计、参数调试、问题排查与解决的能力;
3、熟练掌握至少1种干法刻蚀设备(ICP刻蚀机、RIE刻蚀机、IBE刻蚀机)的操作与维护方法,能独立完成工艺参数调试、样品刻蚀及设备日常点检;熟悉刻蚀气体(如SF6、CHF3、Cl2等)的特性与配比原则,了解刻蚀掩模的选择与使用方法;
4、能熟练运用SEM、AFM等工艺表征设备及数据处理工具,具备良好的数据处理、分析与总结能力,能通过数据分析定位刻蚀工艺问题、优化工艺参数,形成完整的工艺优化报告;
5、对器件干法刻蚀领域有浓厚兴趣,具备严谨的工作态度、较强的责任心和执行力,注重细节(刻蚀工艺精度与稳定性核心要求),能严格遵守工艺规范与设备操作准则;
6、具备良好的团队协作精神与沟通能力,能高效对接研发、测试、量产等不同环节的同事,推动刻蚀工艺相关工作落地;
7、具备较强的学习能力和抗压能力,能快速适应工艺迭代需求,主动学习新型刻蚀技术、设备操作及行业前沿知识,勇于解决刻蚀工艺难题。

工作地点

工作地点
苏州工业园区唯亭科技园朱家工业园(浦田路)23幢
位置图标
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公司信息

苏州烯晶半导体科技有限公司

天使轮 · 20-99人 · 电子/半导体/集成电路、电子/半导体/集成电路 已审核 已审核

11 个在招职位

公司介绍

苏州烯晶半导体科技有限公司成立于2022年,是国内第一家专注于半导体碳纳米管(CNT)研发、工程化与规模化生产的高科技企业。公司建有全球领先的半导体碳纳米管材料生产与表征平台,具备半导体碳纳米管晶圆的批量生产能力。通过持续技术攻关,公司在材料提纯、晶圆制备及工艺集成等环节取得关键突破,形成了从技术研发到产业化的完整体系。目前,公司正积极构建"材料-设备-工艺-应用"的产业生态,为后摩尔时代提供颠覆性解决方案。展望未来,公司将持续推动碳基半导体技术创新,积极参与下一代芯片技术规则的制定,致力于将材料科学的突破转化为产业发展的核心引擎,为全球半导体产业生态的构建贡献中国智慧与力量。

工商信息

企业名称 苏州烯晶半导体科技有限公司
企业类型 有限责任公司
法人代表 韩杰
经营状态 存续
成立时间 2022-04-18
注册资本 1592.1万元
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认证资质

营业执照信息

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